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安捷倫科技(中國)有限公司

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Turbo-V 3K-G 分子泵

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號:

品       牌:Agilent/安捷倫

廠商性質(zhì):生產(chǎn)商

所  在  地:北京市

更新時間:2023-05-28 17:17:56瀏覽次數(shù):294次

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應(yīng)用領(lǐng)域 化工
Agilent Turbo-V 3K-G 分子泵是一款專用真空泵系統(tǒng),是針對薄膜沉積設(shè)備精心設(shè)計的渦輪分子泵。其葉片級數(shù)和整個泵結(jié)構(gòu)均經(jīng)過優(yōu)化,能夠在高溫負載和極高氬氣流下工作。

這款泵設(shè)計堅固,適用于惡劣的制造環(huán)境。典型的工業(yè)真空鍍膜應(yīng)用,包括太陽能板和平板顯示器制造。Turbo-V 3K-G 的可靠設(shè)計和先進的集成電子設(shè)備,使其成為真空鍍膜行業(yè)的最佳分子泵解決方案。

Agilent Turbo-V 3K-G 分子泵是一款專用真空泵系統(tǒng),是針對薄膜沉積設(shè)備精心設(shè)計的渦輪分子泵。其葉片級數(shù)和整個泵結(jié)構(gòu)均經(jīng)過優(yōu)化,能夠在高溫負載和很高氬氣流下工作。

這款Turbo-V 3K-G 分子泵設(shè)計堅固,適用于惡劣的制造環(huán)境。典型的工業(yè)真空鍍膜應(yīng)用,包括太陽能板和平板顯示器制造。Turbo-V 3K-G 的可靠設(shè)計和先進的集成電子設(shè)備,使其成為真空鍍膜行業(yè)的最佳分子泵解決方案。

特性


  • 專為薄膜沉積應(yīng)用而設(shè)計的分子泵解決方案

  • 經(jīng)優(yōu)化適用于很高的氬氣流量

  • 集成式泵和控制器可安裝在任何位置,操作簡單,占地面積小

  • 支持高氣體流速,能夠使用 DN 250 實現(xiàn)高通量應(yīng)用

  • 耐用設(shè)計、高效運行的冷卻系統(tǒng)可實現(xiàn)連續(xù)運行

  • 氣體吹掃可保護泵軸承,在存在系統(tǒng)污染物和微粒的情況下可實現(xiàn)無縫運行

  • 低噪音,不會對系統(tǒng)產(chǎn)生任何影響

  • 免維護軸承,零運行成本

  • 通過 Vacuum Link 應(yīng)用程序?qū)崿F(xiàn)無線控制,以便隨時隨地進行泵操作并可選配 Profibus

  • 通用電子接口,包括模擬 I/O 信號和 RS232/RS485,用于通過 A-Plus 軟件實現(xiàn)遠程控制


性能指標


He 壓縮比
  • 6 x 103

N2 壓縮比
  • >1 x 107

前級管道法蘭尺寸
  • KF 40 NW

前級耐壓 — N2
  • 0.5 mbar

啟動時間
  • < 6 min

工作位置
  • 任意

建議采用的前級泵容量
  • 60 m3/h

抽速 — Ar
  • 2050 L/s

抽速 — He
  • 1900 L/s

抽速 — N2
  • 2200 L/s

操作環(huán)境溫度
  • +5 to +35 °C

極限真空
  • <1 x 10–8 mbar

標準和認證
  • EN 55011(無線電干擾特性)
    EN 61000-3-2(諧波電流發(fā)射限值)
    EN 61000-3-3(電壓變化、電壓波動和閃爍的限制)
    EN 61000-6-2 和 EN 61326(工業(yè)環(huán)境的抗擾度)檢查:
    EN 61000-4-2(靜電放電現(xiàn)象)
    EN 61000-4-3(高頻輻射現(xiàn)象)
    EN 61000-4-4、EN 61000-4-5 和 EN61000-4-6(高頻導(dǎo)電現(xiàn)象)
    EN 61000-4-11(電壓波動、電壓暫降和短時中斷)

法蘭類型
  • DN 250 ISO-F

貯存環(huán)境溫度
  • -20 至 +70 °C

重量
  • 52 kg

額定轉(zhuǎn)速
  • 31800 rpm(驅(qū)動頻率 530 Hz)



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